光学光刻和极紫外光刻

电子与通信 微电子学、集成电路(IC)

• ISBN：9787547857205
• 作者：[美]安迪·爱德曼 著，高伟民 徐东波 诸波尔 译
• 印次：1
• 字数：400
• 版次：1
• 页数：316
• 出版社：上海科技
• 出版时间：2022-10-01
• 印刷时间：2022-10-01