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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 张海洋 著 清华大学出版社
- ISBN：9787302489597
- 作者：张海洋 著
- 包装：平装
- 版次：1
- 出版社：清华大学出版社
- 出版时间：2018-03-01
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